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              顯微薄膜測厚儀

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              MProbe MSP顯微薄膜測厚儀


              參考價價:20-30萬

              MProbe MSP顯微薄膜測厚儀適用于實時在線測量,多層測量,非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。

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              大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導體(硅,單晶硅,多晶硅),半導體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),聚合物涂層(聚對二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)。

              測量范圍: 1 nm -800um

              波長范圍: 200 nm -1700 nm

              光斑直徑:200um-4um

              適用于實時在線測量,多層測量,非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。

              測量指標:薄膜厚度,光學常數

              界面友好強大: 一鍵式測量和分析。

              實用的工具:曲線擬合和靈敏度分析,背景和變形校正,連接層和材料,多樣品測量,動態測量和產線批量處理。

              MProbe MSP顯微薄膜測厚儀



              性能參數:

                 精度 <0.01nm or 0.01%
                 準確度 <0.2% or 1 nm
                 穩定性 <0.02nm or 0.03%
                 光斑直徑 200um -4um
                 樣品大小 100um-200mm
                 物鏡 10X,20X,50X,8X(UV-NIR),長工作距離


              測量100nm二氧化硅薄膜,40um光斑直徑,波長范圍:200-1000nm:


              MProbe MSP顯微薄膜測厚儀



              MProbe MSP顯微薄膜測厚儀


              可選部件:
              型號 描述 備注
              MXY(6或8) 電動載物臺,行程6英寸(150mm)或8英寸(200mm),包含控制器和厚度繪圖軟件,0.5um步進,1um重復精度 準備配置中包含8英寸手動載物臺
              TOM 透射率測量模塊,包含透射光源,聚光鏡,和光纖 可用于可見光和近紅外波段
              RetCCD SCMOS相機,用于對測量部分的成像 可用于其他正置顯微鏡
              APO100 APO 100倍物鏡(可見光),分辨率0.7um 標準配置中包含2X,10X,20X,50X物鏡

              型號 波長范圍 光譜儀/檢測器/光源 測量范圍
              VIS-MSP 400-1100nm F4光譜儀,3600像素CCD檢測器,鹵鎢燈 15nm-20um
              UVVisSR-MSP 200-1100nm F4光譜儀,3600像素CCD檢測器,氘燈和鹵鎢燈 1nm-20um
              HRVIS-MSP 700-1000 nm 高分辨率F4光譜儀,204800像素CCD檢測器,鹵鎢燈 1um-400um
              NIR-MSP 900-1700nm F2光譜儀,512像素InGaAs PDA檢測器,鹵鎢燈 100nm-200um
              VISNIR-MSP 400-1700nm F4光譜儀,3600像素CCD檢測器(可見光通道),F2光譜儀,512像素InGaAs PDA檢測器(近紅外通道),鹵鎢燈 15nm-200um
              UVVISNIR-MSP 200-1700nm F4光譜儀,3600像素CCD檢測器(可見光通道),F2光譜儀,512像素InGaAs PDA檢測器(近紅外通道),氘燈和鹵鎢燈 1nm-200um
              HRVisX-MSP 700nm-1000nm HRX高分辨率F4光譜儀,3600像素CCD檢測器,鹵鎢燈 5um-800um


              測量n和k值,其厚度范圍需在25納米和5微米之間

              保修期1年


              我們樂意為您進行免費樣品測量,歡迎來電咨詢。


              美國Semiconsoft中國總代理   上海全耀儀器設備有限公司    


              全國咨詢熱線:400-992-5592
               


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