產品中心
products center
行業應用 · Application
最新新聞· Latest News
聯系我們
聯系人：黃先生
電 話：400-992-5592
郵 箱：info@filmgauge.com.cn
地 址：上海市嘉定區瀏翔公路955號1號樓A座
您的當前位置：全耀首頁 > 產品中心 > 顯微薄膜測厚儀 > MProbe MSP顯微薄膜測厚儀
顯微薄膜測厚儀
[返回列表]
MProbe MSP顯微薄膜測厚儀
參考價價：20-30萬
MProbe MSP顯微薄膜測厚儀適用于實時在線測量，多層測量，非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料)，新材料可以很容易的添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。
大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。比如：氧化物，氮化物，光刻膠，高分子聚合物，半導體(硅，單晶硅，多晶硅)，半導體化合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬涂層(碳化硅，類金剛石炭)，聚合物涂層(聚對二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)。
測量范圍: 1 nm -800um
波長范圍: 200 nm -1700 nm
光斑直徑：200um-4um
適用于實時在線測量，多層測量，非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料)，新材料可以很容易的添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。
測量指標：薄膜厚度，光學常數
界面友好強大: 一鍵式測量和分析。
實用的工具：曲線擬合和靈敏度分析，背景和變形校正，連接層和材料，多樣品測量，動態測量和產線批量處理。
性能參數：
| 精度 | <0.01nm or 0.01% |
| 準確度 | <0.2% or 1 nm |
| 穩定性 | <0.02nm or 0.03% |
| 光斑直徑 | 200um -4um |
| 樣品大小 | 100um-200mm |
| 物鏡 | 10X，20X，50X，8X（UV-NIR），長工作距離 |
測量100nm二氧化硅薄膜，40um光斑直徑，波長范圍：200-1000nm：
| 可選部件： | ||
| 型號 | 描述 | 備注 |
| MXY（6或8） | 電動載物臺，行程6英寸（150mm）或8英寸（200mm），包含控制器和厚度繪圖軟件，0.5um步進，1um重復精度 | 準備配置中包含8英寸手動載物臺 |
| TOM | 透射率測量模塊，包含透射光源，聚光鏡，和光纖 | 可用于可見光和近紅外波段 |
| RetCCD | SCMOS相機，用于對測量部分的成像 | 可用于其他正置顯微鏡 |
| APO100 | APO 100倍物鏡（可見光），分辨率0.7um | 標準配置中包含2X，10X，20X，50X物鏡 |
| 型號 | 波長范圍 | 光譜儀/檢測器/光源 | 測量范圍 |
| VIS-MSP | 400-1100nm | F4光譜儀，3600像素CCD檢測器，鹵鎢燈 | 15nm-20um |
| UVVisSR-MSP | 200-1100nm | F4光譜儀，3600像素CCD檢測器，氘燈和鹵鎢燈 | 1nm-20um |
| HRVIS-MSP | 700-1000 nm | 高分辨率F4光譜儀，204800像素CCD檢測器，鹵鎢燈 | 1um-400um |
| NIR-MSP | 900-1700nm | F2光譜儀，512像素InGaAs PDA檢測器，鹵鎢燈 | 100nm-200um |
| VISNIR-MSP | 400-1700nm | F4光譜儀，3600像素CCD檢測器（可見光通道），F2光譜儀，512像素InGaAs PDA檢測器（近紅外通道），鹵鎢燈 | 15nm-200um |
| UVVISNIR-MSP | 200-1700nm | F4光譜儀，3600像素CCD檢測器（可見光通道），F2光譜儀，512像素InGaAs PDA檢測器（近紅外通道），氘燈和鹵鎢燈 | 1nm-200um |
| HRVisX-MSP | 700nm-1000nm | HRX高分辨率F4光譜儀，3600像素CCD檢測器，鹵鎢燈 | 5um-800um |
測量n和k值，其厚度范圍需在25納米和5微米之間
保修期1年
我們樂意為您進行免費樣品測量，歡迎來電咨詢。
美國Semiconsoft中國總代理 上海全耀儀器設備有限公司
Email：info@filmgauge.com.cn
上一個產品： 暫無上一篇
下一個產品： 暫無下一篇
