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顯微薄膜測厚儀
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MProbe MSP顯微薄膜測厚儀
參考價價:20-30萬
MProbe MSP顯微薄膜測厚儀適用于實時在線測量,多層測量,非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。
大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導體(硅,單晶硅,多晶硅),半導體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),聚合物涂層(聚對二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)。
測量范圍: 1 nm -800um
波長范圍: 200 nm -1700 nm
光斑直徑:200um-4um
適用于實時在線測量,多層測量,非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。
測量指標:薄膜厚度,光學常數
界面友好強大: 一鍵式測量和分析。
實用的工具:曲線擬合和靈敏度分析,背景和變形校正,連接層和材料,多樣品測量,動態測量和產線批量處理。
性能參數:
精度 | <0.01nm or 0.01% |
準確度 | <0.2% or 1 nm |
穩定性 | <0.02nm or 0.03% |
光斑直徑 | 200um -4um |
樣品大小 | 100um-200mm |
物鏡 | 10X,20X,50X,8X(UV-NIR),長工作距離 |
測量100nm二氧化硅薄膜,40um光斑直徑,波長范圍:200-1000nm:
可選部件: | ||
型號 | 描述 | 備注 |
MXY(6或8) | 電動載物臺,行程6英寸(150mm)或8英寸(200mm),包含控制器和厚度繪圖軟件,0.5um步進,1um重復精度 | 準備配置中包含8英寸手動載物臺 |
TOM | 透射率測量模塊,包含透射光源,聚光鏡,和光纖 | 可用于可見光和近紅外波段 |
RetCCD | SCMOS相機,用于對測量部分的成像 | 可用于其他正置顯微鏡 |
APO100 | APO 100倍物鏡(可見光),分辨率0.7um | 標準配置中包含2X,10X,20X,50X物鏡 |
型號 | 波長范圍 | 光譜儀/檢測器/光源 | 測量范圍 |
VIS-MSP | 400-1100nm | F4光譜儀,3600像素CCD檢測器,鹵鎢燈 | 15nm-20um |
UVVisSR-MSP | 200-1100nm | F4光譜儀,3600像素CCD檢測器,氘燈和鹵鎢燈 | 1nm-20um |
HRVIS-MSP | 700-1000 nm | 高分辨率F4光譜儀,204800像素CCD檢測器,鹵鎢燈 | 1um-400um |
NIR-MSP | 900-1700nm | F2光譜儀,512像素InGaAs PDA檢測器,鹵鎢燈 | 100nm-200um |
VISNIR-MSP | 400-1700nm | F4光譜儀,3600像素CCD檢測器(可見光通道),F2光譜儀,512像素InGaAs PDA檢測器(近紅外通道),鹵鎢燈 | 15nm-200um |
UVVISNIR-MSP | 200-1700nm | F4光譜儀,3600像素CCD檢測器(可見光通道),F2光譜儀,512像素InGaAs PDA檢測器(近紅外通道),氘燈和鹵鎢燈 | 1nm-200um |
HRVisX-MSP | 700nm-1000nm | HRX高分辨率F4光譜儀,3600像素CCD檢測器,鹵鎢燈 | 5um-800um |
測量n和k值,其厚度范圍需在25納米和5微米之間
保修期1年
我們樂意為您進行免費樣品測量,歡迎來電咨詢。
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