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              反射光譜薄膜測厚儀

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              MProbe Vis薄膜測厚儀


              參考價格:15-20萬

              MProbe Vis薄膜測厚儀大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導體(硅,單晶硅,多晶硅),半導體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),聚合物涂層(聚對二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

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              大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被MProbe Vis測厚儀測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導體(硅,單晶硅,多晶硅),半導體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),聚合物涂層(聚對二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)。


              測量范圍: 15 nm -50um

              波長范圍: 400 nm -1100 nm


              MProbe Vis薄膜測厚儀適用于實時在線測量,多層測量,非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。


              測量指標:薄膜厚度,光學常數

              界面友好強大: 一鍵式測量和分析。

              MProbe Vis薄膜測厚儀實用的工具:曲線擬合和靈敏度分析,背景和變形校正,連接層和材料,多樣品測量,動態測量和產線批量處理。

               MProbe Vis薄膜測厚儀

              (MProble NIR薄膜測厚儀系統示)


              性能參數:

                   精度 <0.01nm or 0.01%
                  準確度 <0.2% or 1 nm
                  穩定性 <0.02nm or 0.03%
                  光斑直徑 標準3mm, 可以小至3um
                  樣品大小 大于1 mm


               案例1,300nm二氧化硅薄膜的測量:

              MProbe Vis薄膜測厚儀


              硅晶圓反射率,測量時間10ms:

              MProbe Vis薄膜測厚儀


              案例2,測量500nm氮化鋁,測量參數:厚度和表面粗糙度

              MProbe Vis薄膜測厚儀


              技術參數:

                 測量范圍 15nm-50um
                 精度 <0.01nm or 0.01%
                 準確度 <0.2% or 1 nm
                 穩定性 <0.02nm or 0.03%
                 波長范圍 400-1100nm
                 光譜儀和檢測器 F4光譜儀,3600像素CCD檢測器,16位深
                 光譜分辨率 小于2nm(標準),可選1nm
                 光源 5W鹵鎢燈,色溫2800,壽命:10000小時
                 反射探頭 光導光纖(7個纖芯),纖芯400um


              可選硬件模塊
                FLVis 消色差聚焦透鏡,工作距離:35mm,光斑直徑:小于0.5mm
                FDHolder 面向下面樣品適配器,用于透明樣品
                TO 透射率測量模塊
                TO Switch 2個通道轉換器,用于反射率和透射率測量
                20W 20W鹵鎢燈(色溫3100,壽命2000小時)
                TR 5V TTL外觸發模塊,1個外部in觸發,啟動測量,6路out觸發
                LP500 長通濾光片,過濾500nm以下光譜,用于光刻膠,其他波長可選


              可選軟件模塊
              MOD 遠程控制(TCP),基于Modbus協議
              CM 動態測量模塊,設定時間間隔,用于在線測量
               


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