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              反射光譜薄膜測厚儀

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              MProbe系列薄膜測厚儀


              參考價格:15-20萬

              型號:MProbe

              反射光譜干涉法是一種非接觸式、無損的、精確且快速的光學薄膜厚度測量技術。

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                當一束光入射到薄膜表面時,薄膜上表面和下表面的反射光會發生干涉,干涉的發生與薄膜厚度及光學常數等有關,反射光譜薄膜測厚儀就是基于此原理來測量薄膜厚度。

                反射光譜干涉法是一種非接觸式、無損的、精確且快速的光學薄膜厚度測量技術。

                測量范圍: 1 nm - 1 mm

                波長范圍: 200 nm -8000 nm

                光斑尺寸:2mum -3 um

                產品特點:

                a. 最高的測量精度:0.01nm或0.01%

                b. 準確度:1nm或0.2%

                c. 穩定性:0.02nm或0.02%

                d. 強大的軟件材料庫,包含500多種材料的光學常數

                e. 通過Modbus TCP或OPC協議,與其他設備聯用

                適用于實時在線測量,多層測量,非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等


                大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導體(硅,單晶硅,多晶硅),半導體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),聚合物涂層(聚對二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

                標準配置中包含:

                1. 主機(光譜儀,光源,電線)

                2. 反射光纖

                3. 樣品臺及光纖適配器

                4. TFCompanion軟件

                5. 校準套裝

                6. 測試樣品,200nm晶圓

                廣泛的應用于各種工業生產及工藝監控中:

                半導體晶圓,薄膜太陽能電池,液晶平板,觸摸屛,光學鍍膜,聚合物薄膜等



              多種型號可選,每個型號對應不同的測量范圍:



               測量n和k值,其厚度范圍需在25納米和5微米之間

                還有其他配置可供選擇

                提供OEM和客戶定制化服務

                保修期1年


              上海全耀代理產品:膜厚測量儀,薄膜測試儀,膜厚儀,厚度測量儀以及MProbe MSP顯微薄膜測試儀等,歡迎廣大用戶前來訂購。


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