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              什么是橢圓偏振光膜厚測量儀?有何作用?

              作者:上海全耀儀器設備有限公司  上傳日期:2016年04月14日    瀏覽次數:

                橢圓偏振光膜厚測量儀可能大家對此不是很熟悉,但將其拆分開來看,也就不會太陌生了,簡單來說這是測量設備的一種,只不過這種設備測量方式采用的是偏振光發射測量,利用光學性質獲得被測物的厚度值。為讓大家進一步認識該類型的測量儀,本文從以下幾點為大家介紹一下。

                橢圓偏振光膜厚測量儀工作原理:

                以上也有提及過,在對被測物進行厚度測量,主要是采用光學性質,通過偏振光發射實現厚度上面的測量,確實這僅僅是大概思路,在實際測量中要做到的遠遠不止這些。具體工作原理是在起偏器運行時,通過線偏振光徑的變化將其轉化成橢圓型的偏振光,為獲取被測物厚度值,需要將橢圓形的偏振光投射到被測物上面,在此基礎上利用起偏器產生透光反應,如此被測物表面便會產生線偏振光,接收器根據線偏振光的變化,將變化的數據收集起來,從而得到振幅值和相位上的變化最后通過光電探測獲得被測物的厚度值。

                橢圓偏振光膜厚測量儀應用:

                這種利用橢圓偏振光實現物體厚度測量的膜厚測量儀因為整個操作比較簡單,可以獨立使用,同時也可以依附式使用,可選性強,因為這些原因,使得膜厚測量儀被廣泛使用在各行各業中,比如工農制造、化工生產、物料加工、自動化生產線等等;

                橢圓偏振光膜厚測量儀測量精確度影響因素:

                1、操作方式不正確,導致設備測量精確值有誤差,正確的操作方式是首先操作起偏器、然后是補償器接下來是將被測物放在測量儀上面;

                2、膜厚測量儀機位調整不合理,導致相位出錯;

                3、入射光和反射光之間形成的發射系數不合理,導致發射偏振光線出現角度偏差;

                什么是橢圓偏振光膜厚測量儀?以上內容針對這個問題做出了簡單介紹,不僅是工作原理上,還是實際應用上,還是影響測量值精準值的相關要素本文內容都做了相關介紹,更多信息各位可以進一步咨詢上海全耀。

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