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            2. 行業應用
              Industry Applications

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              PET觸摸屏ITO薄膜厚度的測量


              使用MProbe Vis薄膜測厚儀測量觸摸屏樣品,PET上覆蓋ITO薄膜層,PET下面有硬涂層聚合物(聚酰亞胺),下面是測量結果:


              測量位置 ITO層厚度(nm) 硬涂層厚度(nm)
              中間 32.1 1536
              左上角 32.2 1549
              右上角 30.5 1594
              左下角 32.3 1493
              右下角 33.7 1490


              以下是光譜數據分析:



              圖1. 五個測量點的反射光譜曲線


              ITO材料的色散模型使用classical oscillator 近似模型,光學常數在數據分析時會有所修正。硬涂層聚酰亞胺的色散模型使用Cauchy近似模型,厚度和折射率同時被測量,其光學常數是基于PET和聚酰亞胺界面,兩種材料的折射率相差很小,這會引起小振幅的干涉條紋。


              測量分為兩步:


               第一步,硬涂層被忽略,只分析ITO層,ITO薄膜的厚度和光學常數同時測量。



              圖2. 測量得到的反射光譜曲線與模型曲線進行擬合,測量得到的反射率光譜曲線呈現波紋狀,這是硬涂層引起的。


              第二步,硬涂層加到膜層結構上,硬涂層的厚度、光學常數和ITO層的厚度同時測量,至此,模型結構已經建立,所有測量用這個模型。



              圖3. 測量得到的反射光譜曲線與模型曲線相擬合,ITO層和硬涂層的厚度都被測量,模型曲線也呈現出波紋狀,與圖2相比,擬合度更好。



              圖4. 硬涂層的折射率測量。




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