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              Industry Applications

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              硅碳氮(SiCN)薄膜厚度及禁帶寬度的測量


              硅碳氮(SiCN)薄膜是一種新型的三元功能薄膜材料,因其高硬度、寬光學帶隙、良好的高溫抗氧化性能及抗腐蝕性能等諸多優點,在微電子半導體和計算機產業等領域具有廣闊的應用前景。

              使用MProbe UVVisSR薄膜測厚儀測量層積在硅表面的硅碳氮(SiCN)薄膜的厚度,及硅碳氮材料的光學系數和禁帶寬度。硅碳氮的色散模型使用Tauc-Lorentz近似模型,包含一個禁帶寬度參數。

              以下是光譜數據分析:


              圖1. 1號樣品硅碳氮(SiCN)薄膜厚度的測量,測量結果:61.5nm,測量得到的反射光譜曲線和模型曲線擬合度很好,光學系數曲線見圖2


              圖2. 1號樣品硅碳氮(SiCN)薄膜的光學常數曲線,禁帶寬度:1.32eV


              圖3. 2號樣品硅碳氮(SiCN)薄膜厚度的測量,測量結果:597.9nm,測量得到的反射光譜曲線和模型曲線擬合度很好,光學系數曲線見圖4



              4. 2號樣品硅碳氮(SiCN)薄膜的光學常數曲線,禁帶寬度:0.854eV



              我們樂意為您進行免費薄膜樣品測量,歡迎來電咨詢。


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